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J-GLOBAL ID：201002288545271890   整理番号：10A0779798

優先方位銅ビアパターンの熱疲労に対する離散転位動力学モデリング

A discrete dislocation dynamics modeling for thermal fatigue of preferred oriented copper via patterns

著者 (7件)： KIM Gyu Seok (SIMaP-GPM2, CNRS, INP Grenoble, BP 46, 38402 Saint-Martin-d’Heres, FRA) ,  FIVEL Marc C. (SIMaP-GPM2, CNRS, INP Grenoble, BP 46, 38402 Saint-Martin-d’Heres, FRA) ,  LEE Hyo-jong (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Dong-A Univ., 840 Hadan-dong, Saha-gu, Busan 604-714, KOR) ,  SHIN Chansun (Nuclear Material Technol. Div., Korea Atomic Energy Res. Inst., 150 Dukjin-dong, Yuseong-gu, Daejeon 305-353, KOR) ,  HAN Heung Nam (Dep. of Materials Sci. and Engineering and Res. Inst. of Advanced Materials (RIAM), Seoul National Univ., San 56-1 ...) ,  CHANG Hyung-jun (Dep. of Materials Sci. and Engineering and Res. Inst. of Advanced Materials (RIAM), Seoul National Univ., San 56-1 ...) ,  OH Kyu Hwan (Dep. of Materials Sci. and Engineering and Res. Inst. of Advanced Materials (RIAM), Seoul National Univ., San 56-1 ...)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 63  号： 7  ページ： 788-791  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶塑性有限要素法と離散転位動力学とが階層的に結びついた計算モデリングを超大規模銅配線でのビアパターンの熱疲労挙動の研究に使用した。パターンは柱状で,長軸方向に〈001〉,〈110〉,〈111〉の3結晶方位の一つを有する。内部応力と型経由表面形状が,転位の発生と運動を考慮することにより得ることができた。結晶方位に関するロバストなビアパターンが暗示された。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 優先配向 ,  *銅 ,  熱疲れ ,  *動力学 ,  モデリング ,  塑性 ,  内部応力 ,  *転位【結晶】 ,  ロバスト性 ,  *配線 ,  超LSI ,  スルーホールめっき ,  充填 ,  結晶方位 ,  型 ,  バイアホール ,  誘電材料 ,  交差滑り
準シソーラス用語： パターン ,  ビアフィリング ,  ロバスト ,  結晶塑性 ,  低誘電率材料 ,  *転位動力学 ,  *銅配線 ,  有限要素解析 ,  離散転位

分類 (3件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  機械的性質  (WB02030U) ,  金属の格子欠陥  (BK12030F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 優先方位 ,  銅 ,  熱疲労 ,  離散転位 ,  動力学モデリング