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J-GLOBAL ID：201002288551633809   整理番号：10A1091102

散乱光分布を利用した半導体ウエハ上欠陥種分類手法

著者 (6件)： 杉原慶彦 (北大 大学院情報科学研究科) ,  本田敏文 (日立 生産技研) ,  浦野雄太 (日立 生産技研) ,  渡辺正浩 (北大 大学院情報科学研究科) ,  野口聡 (北大 大学院情報科学研究科) ,  五十嵐一 (北大 大学院情報科学研究科)
資料名： ViEWビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集  (ViEW)
巻： 2009  ページ： 211-216  発行年： 2009年12月03日 
JST資料番号： L4705B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 散乱光 ,  *ウエハ【IC】 ,  *欠陥検査 ,  *パターン分類 ,  半導体材料 ,  画像処理 ,  光学画像 ,  検証実験 ,  固有空間法
準シソーラス用語： 画像検査 ,  光分布 ,  分類精度

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 散乱光 ,  分布 ,  半導体ウエハ ,  欠陥 ,  分類 ,  手法