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J-GLOBAL ID：201002288785141241   整理番号：10A0826345

貯蔵物質: SIMS分析における感度と定量化を改善するために開発された新しい分析技術

Storing Matter: a new analytical technique developed to improve the sensitivity and the quantification during SIMS analyses

著者 (2件)： MANSILLA C. (Centre de Rech. Public-Gabriel Lippmann, Belvaux, LUX) ,  WIRTZ T. (Centre de Rech. Public-Gabriel Lippmann, Belvaux, LUX)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 42  号： 6/7  ページ： 1135-1139  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次イオン質量分析(SIMS)におけるマトリックス効果の除去と感度向上のための貯蔵物質法を検討した。一次イオン照射により発生する二次イオンを仕事関数の小さな材料表面にスパッタした後SIMS分析する方法である。貯蔵材料としてTa,Ag,Au,Ni,Ptを用い,In⁺,Au^-試料にこの方法を適用した。貯蔵物質有用収率UY_StoMatは仕事関数と明瞭な関係があり,In⁺とAu^-では逆の増減を示した。負イオンのイオン化効率は仕事関数が小さい方がよく,正イオンの場合は仕事関数が大きい方が高い値を示した。貯蔵物質の有用性と材料選択の重要性を示した。

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  イオン照射 ,  二次イオン ,  表面分析 ,  定量分析 ,  マトリックス効果 ,  イオン化 ,  仕事関数 ,  スパッタ蒸着

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (5件)： SIMS分析 ,  感度 ,  定量化 ,  開発 ,  分析技術