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J-GLOBAL ID：201002288958829821   整理番号：10A0830151

高分子ナノ構造化部品の小,中規模連続生産用の原子間力顕微鏡スクラッチングに基づく革新的プロセスチェーンの開発

Development of a Novel Process Chain Based on Atomic Force Microscopy Scratching for Small and Medium Series Production of Polymer Nanostructured Components

著者 (6件)： BROUSSEAU E.B. (Cardiff Univ., Cardiff, GBR) ,  KROHS F. (Univ. Oldenburg, Oldenburg, DEU) ,  CAILLAUD E. (Arts et Metiers ParisTech, Lille, FRA) ,  DIMOV S. (Cardiff Univ., Cardiff, GBR) ,  GIBARU O. (Arts et Metiers ParisTech, Lille, FRA) ,  FATIKOW S. (Univ. Oldenburg, Oldenburg, DEU)
資料名： Journal of Manufacturing Science and Engineering  (Journal of Manufacturing Science and Engineering)
巻： 132  号： 3  ページ： 030901.1-030901.8  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： C0657A  ISSN： 1087-1357  CODEN： JMSEFK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 流体素子など微細射出成形用複製マスタを製作するAFMスクラッチ法を提案した。同法は,ナノスケールでの試料操作が容易で,投資額も低くい。Au/Pd薄膜を被覆したシリコン上でAFMスクラッチ実験を行い,プロセス性能に及ぼすスクラッチパラメータの影響を調べ,得られたナノ構造化部品をマイクロ射出成形のインサートとして試用した。次に,ステップオーバ,作用力などの直交配列L₉に基づき,黄銅合金の円形ウエハを用いて,ダイヤモンド被覆シリコンレバーでスクラッチ実験を行った。表面粗さ,及び深さ,スクラッチ面の表面性状を測定し,ANOVA解析を行った。ステップオーバの最適値は,チップ半径の1/6であった。

シソーラス用語： *射出成形 ,  ナノメータ加工 ,  生産工程 ,  実証実験 ,  直交配列 ,  流体素子 ,  表面粗さ ,  経済性 ,  プローブ ,  引かき試験
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  スクラッチ ,  マスタリング

分類 (1件)： 押出成形  (YH04040N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高分子 ,  ナノ構造 ,  中規模 ,  原子間力顕微鏡 ,  プロセス ,  チェーン ,  開発