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J-GLOBAL ID：201002289135198342   整理番号：10A1456735

混合LB膜から調製した機能化テンプレートを用いた無機薄膜の直接パターニング

Direct Patterning of Inorganic Thin Films Using Functionalized Templates Fabricated from Mixed LB Films

著者 (3件)： 柴田裕史 (千葉工大 工) ,  松本睦良 (東京理大 基礎工) ,  松本睦良 (東京理大 総合研究機構)
資料名： 色材協会誌  (Journal of the Japan Society of Colour Material)
巻： 83  号： 11  ページ： 468-474  発行年： 2010年11月20日 
JST資料番号： F0174A  ISSN： 0010-180X  CODEN： SKYOAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 混合Langmuir-Blodgett(LB)膜の相分離構造を反映した機能化テンプレートを用い,パターニングされた無機薄膜の直接合成を行った。「ゾル-ゲル法」および「無機微粒子の自己組織化」を利用した,円盤状およびナノワイヤー状にパターニングされたジルコニア薄膜およびシリカ微粒子担持薄膜の調製について紹介する。さらに,機能化テンプレート上におけるシリカ微粒子の自己組織化の際の駆動力についても検討を行ったので紹介したい。(著者抄録)

シソーラス用語： Langmuir-Blodgett膜 ,  *型 ,  駆動力 ,  *薄膜 ,  ゾル-ゲル法 ,  自己組織化 ,  パターン形成 ,  ナノワイヤ ,  酸化ジルコニウム ,  *微粒子 ,  カルボン酸 ,  シランカップリング剤 ,  ミクロ相分離 ,  分散系 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  *テンプレート【型】 ,  *無機薄膜

分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

引用文献 (45件)：

• 1) 日本学術振興会薄膜第131委員会編:“薄膜ハンドブック(第2版)”,pp.83-133,オーム社(2008).
• 2) 日本学術振興会薄膜第131委員会編:“薄膜ハンドブック(第2版)”,pp.44-82,オーム社(2008).
• 3) 日本学術振興会薄膜第131委員会編:“薄膜ハンドブック(第2版)”,pp.141-143,オーム社(2008).
• 4) 中澄博行 : J. Jpn. Soc. Colour Mater.(色材), 68,245 (1995).
• 5) E. Kozawa, H. Sakai, T. Hirano, T. Kohno, T. Kakihara, N. Momozawa, M. Abe : J. Microencapsulation, 18, 29 (2001).

タイトルに関連する用語 (5件)： LB膜 ,  調製 ,  テンプレート ,  薄膜 ,  パターニング