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J-GLOBAL ID：201002289138451170   整理番号：10A1126488

生物医学応用に対する音響MEMS変換器

Acoustic MEMS Transducers for Biomedical Applications

著者 (1件)： KIM Eun Sok (Univ. Southern California, CA)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2010  ページ： 71-76  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 音響MEMS変換器は,小型,軽量,小面積への柔軟アレイ形成等により,診断,治療における健康管理に対してかってない機会を提供する。本論文では,薄膜バルク音響共振器(FBAR)および自己収束音響変換器(SFAT)について述べた。1.4GHzFBARセンサは,最小検出可能質量1ng/cm²(空中)および10ng/cm²(水中)で,726cm²/gの質量感度を有した。FBARセンサは,単一ヌクレオチドにより15-merプローブDNAに対して不適正な相補性DNAを区別できた。SFATの場合において,2×2方向性SFATエジェクタアレイを用い,15-merDNA配列を合成した。SFATは,ジェネティクスおよびプロテオミクスに対して,同時又は連続的に,ミクロンサイズ液滴射出に極めて適することを示した。FBARおよびSFAT共に,圧電膜あるいはシートで駆動するため,高速,低消費電力,非加熱であった。

シソーラス用語： 音響 ,  *MEMS ,  音響変換器 ,  *音響共振器 ,  自己集束 ,  *DNA【核酸】 ,  ヌクレオチド ,  cDNA ,  プロテオミクス ,  液滴
準シソーラス用語： DNA配列 ,  FBAR ,  ジェネティクス ,  圧電効果 ,  質量センサ ,  生物医学 ,  薄膜バルク音響共振器

分類 (2件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 生物医学応用 ,  音響 ,  MEMS ,  変換器