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J-GLOBAL ID：201002289261961167   整理番号：10A0291598

超高精度フライカッティングマシンにおける空気静力学的軸受スピンドルの動的特性のモデリング

Modeling of dynamic characteristic of the aerostatic bearing spindle in an ultra-precision fly cutting machine

著者 (8件)： AN C.h. (School of mechatronics engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, People’s Republic of China) ,  AN C.h. (Chengdu Fine Optic Engineering Res. Center, Chengdu, People’s Republic of China) ,  ZHANG Y. (School of mechatronics engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, People’s Republic of China) ,  XU Q. (Chengdu Fine Optic Engineering Res. Center, Chengdu, People’s Republic of China) ,  ZHANG F.h. (School of mechatronics engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, People’s Republic of China) ,  ZHANG J.f. (Chengdu Fine Optic Engineering Res. Center, Chengdu, People’s Republic of China) ,  ZHANG L.j. (School of mechatronics engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, People’s Republic of China) ,  WANG J.h. (School of mechatronics engineering, Harbin Inst. of Technol., Harbin, People’s Republic of China)
資料名： International Journal of Machine Tools & Manufacture  (International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻： 50  号： 4  ページ： 374-385  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： C0568A  ISSN： 0890-6955  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気静力学的軸受スピンドルの軸方向安定性は,大直径の超高精度光学部品の加工に用いられる超高精度フライカッティングマシンのマシニング精度に大きく影響する。中間の空間周波数誤差(振幅<0.1μm,波長約100nm)は,供給方向に沿って常に加工面上に存在する。一般に,加工表面における波うち誤差は,光学部品として用いられる工作物の性能に大きく影響し,スピンドルの傾斜運動は波うち誤差を生成する主要なソースであると思われている。本論文ではスピンドルの傾斜運動を調べるために,スピンドルの角変位のEuler力学方程式を提案し,その方程式の解析解についても示した。同時に,Euler方程式の解析解に基づく工作物の3D表面プロファイルシミュレーションを行った。シミュレーション結果を,超高精度フライカッティングマシンに関する多数の実験により検証した。最後に加工面の波うち誤差を減少させる慣性テンソル基準を示し,気体静力学ベアリングスピンドルの構造設計指針に応用した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 誤差 ,  表面 ,  慣性 ,  テンソル ,  波形 ,  角度 ,  加工面 ,  静力学 ,  軸受 ,  モデリング ,  シミュレーション ,  精度 ,  *工作機械 ,  *スピンドル ,  傾動運動 ,  部品 ,  切削
準シソーラス用語： Euler角 ,  フライカッティングマシン ,  傾斜運動 ,  *光学部品 ,  高精度 ,  ベアリング ,  切削加工

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 軸受 ,  スピンドル ,  動的特性 ,  モデリング