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J-GLOBAL ID：201002289388238871   整理番号：10A0786198

質量センシングアプリケーション用のAlN圧電薄膜をスパッタ蒸着した共振Siカンチレバーの評価

Evaluation of resonating Si cantilevers sputter-deposited with AlN piezoelectric thin films for mass sensing applications

著者 (7件)： SOEKMEN UE (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  STRANZ A (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  WAAG A (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  ABABNEH A (Saarland Univ., Saarbruecken, DEU) ,  SEIDEL H (Saarland Univ., Saarbruecken, DEU) ,  SCHMID U (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT) ,  PEINER E (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 6  ページ： 064007,1-7  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近は,ナノテクノロジーの進歩により分子レベルや原子レベルの質量測定が行われるようになった。このためには,高感度の計量器が必要である。本稿では,スパッタ蒸着したAlN圧電薄膜を持つシリコンカンチレバーについて報告した。シリコンの誘導結合プラズマ(ICP)極低温ドライエッチングを使ったマイクロマシニングプロセスにより,シリコン基板からカンチレバーを製作した。質量センシング限界は5.2ngで,二つのアレイのカンチレバーは,品質係数155~298で質量感度120.34ngHz^-1と,品質係数130~137で質量感度104.38ngHz^-1であった。

シソーラス用語： センサ ,  質量 ,  *窒化アルミニウム ,  *圧電センサ ,  片持板 ,  ナノテクノロジー ,  スパッタ蒸着 ,  誘導結合プラズマ ,  ドライエッチング ,  *マイクロマシニング ,  計測 ,  品質特性
準シソーラス用語： AlN ,  カンチレバー板 ,  *質量センサ ,  質量測定 ,  品質係数

分類 (2件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (10件)： 質量 ,  センシング ,  アプリケーション ,  AlN ,  圧電薄膜 ,  スパッタ蒸着 ,  共振 ,  Si ,  カンチレバー ,  評価