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J-GLOBAL ID：201002289779826166   整理番号：10A0556162

基礎研究と教育用のMEMSテストのための低コストシステム

Low-cost System for Testing MEMS for Research and Educational Applications

著者 (4件)： RAMIREZ Gabriel (Texas Tech Univ., TX, USA) ,  SIVAKUMAR Ganapathy (Texas Tech Univ., TX, USA) ,  LACOUTURE Shelby (Texas Tech Univ., TX, USA) ,  DALLAS Tim (Texas Tech Univ., TX, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7592  ページ： 75920M.1-75920M.4  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一般に,MEMSへのアクセスはプローブステーションに経費が負担となりがちである。本報告は基礎研究と教育用のMEMSデバイス操作に関する低コストシステムの構成について述べる。本システムにはドライバボード,パッケージ実装済みMEMSチップ(48ピンDIP-光学系),そしてLabView-VIが含まれる。20~40個別化デバイス(電熱・静電アクチュエータ,マイクロミラー,およびマイクロポジショナ)が,この標準SUMMiTチップフットブリント(6.3×2.8mm)の内部に設けられている。教育指導者がこのシステムを利用してさまざまな教育レベルに合せて指導することができる。研究者は,新しいデバイスの試作,コンピュータシミュレーションのすぐれたモデルの開発と新たな用途への応用に,このシステムが活用できる。

シソーラス用語： *MEMS ,  基礎研究 ,  技術教育 ,  教育機械 ,  *CAI【計算機】 ,  マイクロマシニング ,  マイクロマシン ,  *固体素子 ,  教材

分類 (2件)： 技術教育  (NA01040M) ,  固体デバイス一般  (NC03010Z)

タイトルに関連する用語 (5件)： 基礎 ,  研究 ,  教育 ,  MEMS ,  テスト