低圧反応器中でArイオンジェットによりN<sub>2</sub>-O<sub>2</sub>から発生したプラズマの組成

KUTASI Kinga

文献

J-GLOBAL ID：201002290330087626 整理番号：10A0252772

低圧反応器中でArイオンジェットによりN₂-O₂から発生したプラズマの組成

Composition of a plasma generated from N₂-O₂ by an Ar ion jet in a low pressure reactor

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資料名：
巻： 43 号： 5 ページ： 055201,1-10 発行年： 2010年02月10日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

窒素および酸素原子,ならびに酸化窒素分子を含む低圧プラズマに関する研究の一環として,本研究では,低圧反応器(圧力0.2Torr)中で,(N₂-O₂)混合気体から,超音速Ar⁺イオンジェットの膨張により発生するプラズマについて,流体力学的模型計算によって調べた。その結果に基づいて,1)反応器中での気体速度場および気体温度分布を決定したこと,2)Ar⁺イオンとN₂およびO₂分子との衝突が引き金となって起こる異なる種の形成を明らかにしたこと,3)気体温度と種密度分布とに及ぼすイオン速度と分子気体流量との効果を明らかにしたこと,などを記した。

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プラズマ生成・加熱

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低圧反応器中でArイオンジェットによりN2-O2から発生したプラズマの組成

低圧反応器中でArイオンジェットによりN₂-O₂から発生したプラズマの組成