文献

J-GLOBAL ID：201002291653937056   整理番号：10A1033990

エレクトロサーモメカニカルアクチュエータを用いたオンチップ機械的特性化

On-Chip Mechanical Characterization using an Electro-thermo-mechanical Actuator

著者 (3件)： CORIGLIANO A. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  DOMENELLA L. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  LANGFELDER G. (Politecnico di Milano, Milano, ITA)
資料名： Experimental Mechanics  (Experimental Mechanics)
巻： 50  号： 6  ページ： 695-707  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： D0405A  ISSN： 0014-4851  CODEN： EXMCA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,電子制御によって容易に積分できるミニチュアメカニカルデバイスで駆動されるマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)が大いに開発されている。本文では,エレクトロサーモメカニカルアクチュエータを用いたオンチップ機械的特性化を検討した。まず,オンチップ試験デバイスの一般的記述を示した。ついで,試験片弾性剛性および公称引張強度の決定に対するデータ低減法を検討した。つづいて,キャパシタンス変動測定を検討した。ひきつづき,データ低減法の適用に関して実験を行ない,適用性を検証した。最後に,実験および多物理的有限要素結果の比較を行なった。本研究の結果,エレクトロサーモメカニカルアクチュエータはすぐれた性能を有し,MEMSにおける機械的特性化に適用できることがわかった。

シソーラス用語： *MEMS ,  アクチュエータ ,  キャラクタリゼーション ,  *超小形回路技術 ,  剛性 ,  引張強さ ,  静電容量 ,  データ処理 ,  有限要素法 ,  ポリシリコン ,  *高分子薄膜
準シソーラス用語： *オンチップ ,  キャパシタンス

分類 (2件)： 集積回路一般  (NC03161C) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (2件)： オンチップ ,  機械的特性