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J-GLOBAL ID:201002291765069545   整理番号:10A0927418

静電的に作動するマイクロプレートのプルイン電圧と固有振動数への温度の影響

Effect of temperature on pull-in voltage and natural frequency of an electrostatically actuated microplate
著者 (4件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 666-673  発行年: 2010年09月 
JST資料番号: W0098A  ISSN: 0957-4158  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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静電的に作動するマイクロプレートの機械的挙動への温度の影響を研究するための分散パラメータに基づくモデルを検討した。本研究は2つの主要部分から成る。最初の部分は,静電的に作動するマイクロプレートの静的不安定性に対する温度,伸びおよび残留応力の影響を扱う。この課題の事象を支配する非線形の微積分方程式をキルヒホッフの薄板理論を使って導き,段階的な線形化方法(SSLM)を用いて線形化して得た線形化微分方程式を有限差分法(FDM)を離散化して解いた。得られた結果は,他の既存の実験結果と比較して良い一致が見られた。第2の部分では,システム固有振動数を検討すべく,平衡位置について静電気で撓んだマイクロプレートの小さな振動を調べた。この課題の事象を支配する線形固有値偏微分方程式を(Galerkinをベースとした減少次数モデルを使って)解いて,マイクロプレートの固有振動数を決定した。結果は,温度変化と残留応力が,システム特性(引き込み電圧と固有振動数)に影響を及ぼすことを示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
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振動・音響一般  ,  構造動力学  ,  ロボットの設計・製造・構造要素 
タイトルに関連する用語 (2件):
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