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J-GLOBAL ID：201002291929280854   整理番号：10A0823047

レーザ誘起破壊分光法を用いた組成傾斜組合せ酸化物非晶質薄膜の化学量論分析

Stoichiometric analysis of compositionally graded combinatorial amorphous thin film oxides using laser-induced breakdown spectroscopy

著者 (7件)： WIDJONARKO N. Edwin (Dep. of Physics, 390 UCB, Univ. of Colorado, Boulder, Colorado 80309-0390, USA) ,  PERKINS John D. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA) ,  LEISCH Jennifer E. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA) ,  PARILLA Philip A. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA) ,  CURTIS Calvin J. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA) ,  GINLEY David S. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA) ,  BERRY Joseph J. (National Renewable Energy Lab., 1617 Cole Blvd., Golden, Colorado 80401, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 81  号： 7  ページ： 073103  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ誘起破壊分光法(LIBS)は最近開発された局所破壊元素分析技術で,固体,液体,気体試料の分析に利用できる。本研究では,NdドープYAGレーザで少量の試料をアブレーションし,プルームからの発光スペクトルを同期した分光計群を用いて系を分析した。LIBSを用いて組成傾斜した非晶質酸化亜鉛インジウム薄膜ライブラリーの化学量論組成をマップした。実験パラメータ(レンズと試料の距離,試料上のスポットの大きさ,外)を最適化し,LIBS装置を誘導結合プラズマ原子発光分析法に対して較正し,LIBSに基づく極めて一貫性のある元素分析が行われた。一貫した結果を得るために注意すべき種々のパラメータを論じた。また,比較した。ライブラリーの組成マッピング用の技術としての蛍光X線とLIBSを比較した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *レーザ分光法 ,  YAGレーザ ,  発光スペクトル ,  分光計 ,  化学量論 ,  酸化亜鉛 ,  インジウム化合物 ,  半導体材料 ,  非晶質 ,  薄膜 ,  固有X線 ,  化学組成
準シソーラス用語： *レーザ誘起破壊分光法 ,  蛍光X線 ,  組成傾斜

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ誘起破壊分光法 ,  組成傾斜 ,  組合せ ,  酸化物 ,  非晶質薄膜 ,  化学量論 ,  分析