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J-GLOBAL ID：201002292605405812   整理番号：10A0777444

振動発電器のための垂直エレクトレット膜への軟X線荷電に関する研究

著者 (4件)： 本泉真人 (東大 工) ,  萩原啓 (NHK 技研) ,  田島利文 (NHK 技研) ,  鈴木雄二 (東大 工)
資料名： 日本機械学会動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集  (動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集)
巻： 15th  ページ： 217-218  発行年： 2010年06月20日 
JST資料番号： L2278A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 垂直エレクトレット膜に荷電する方法として新たに軟X線照射による手法を開発した。この荷電方法では,開口部の20~30倍の深さまでエレクトレット膜を荷電することができ,MEMSデバイスを接合プロセスなしに1枚のウエハから製作することが可能となる。そこで,コームドライブ型の振動発電器を設計・試作した。外部からのバイアス電圧を必要とせずに,500Hz,18.7μm_p-pの強制振動から30mVの出力電圧が得られ,表面電位は52Vであると見積もられた。(著者抄録)

シソーラス用語： *振動 ,  発電 ,  エレクトレット ,  *静電誘導 ,  MEMS ,  非線形性 ,  ばね ,  コロナ放電 ,  軟X線 ,  電荷 ,  電力 ,  *発電機

分類 (1件)： 発電機  (NB07020J)

タイトルに関連する用語 (6件)： 振動発電 ,  垂直 ,  エレクトレット ,  軟X線 ,  荷電 ,  研究