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J-GLOBAL ID：201002292894178020   整理番号：10A0297948

光学式塗工・多層膜厚センサ

資料名： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 49  号： 1  ページ： 66-67  発行年： 2010年01月10日 
JST資料番号： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 世界で初めて製品化した,1台で最大5層の各層膜厚をオンラインで測定する,光学式塗工・多層膜センサを紹介した。シャボン玉や油膜などの薄い膜では膜の上面と下面からの反射光の干渉で色が付いて見える。この反射光の干渉は膜の厚さに依存する。本センサはこの特性を利用したもので,白色光をフィルム面に照射し,その反射スペクトルをフーリエ変換してフィルムの厚さを測定する。開発過程で,フィルム・シートのバタツキ,しわやカールによる測定値の変動除去や24時間の連続使用でも高精度で測定可能とするなどの課題を解決し製品化を実現した。

シソーラス用語： *光センサ ,  塗膜 ,  *多層膜 ,  *厚み測定 ,  薄膜 ,  光干渉 ,  Fourier変換 ,  オンラインシステム
準シソーラス用語： *膜厚測定 ,  反射光

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光学 ,  塗工 ,  多層 ,  膜厚