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J-GLOBAL ID：201002293039948958   整理番号：10A0225921

モノづくりベンチャーの挑戦 第15回 筑波精工 低電圧で材質不問の高吸着力を発生する次世代静電チャック

資料名： ツールエンジニア
巻： 51  号： 3  ページ： 58-61  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： G0937A  ISSN： 0389-4967  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 東京大学との共同研究により商品化した静電チャックと,それを応用したシステムを製造販売している。その従業員11人のベンチャー企業,筑波精工を訪ねた。同社常務の博士論文,すなわちガラス板をクーロン力(静電気力)で浮上させ,非接触で搬送する研究をベースにしている。その用途は半導体ウエハ,液晶パネル,プリント基板の吸着などで,材質不問でマイルドな吸着が特徴である。

シソーラス用語： 産学協同 ,  *企業 ,  *チャック ,  物理吸着 ,  運搬機械
準シソーラス用語： *静電チャック ,  *ベンチャー企業

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： モノづくり ,  低電圧 ,  材質 ,  吸着力 ,  次世代 ,  静電チャック