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J-GLOBAL ID：201002293125239200   整理番号：10A0421294

微細構造大気圧プラズマ配列の励起動力学

Excitation dynamics of micro-structured atmospheric pressure plasma arrays

著者 (7件)： BOETTNER H (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  WASKOENIG J (Queen’s Univ. Belfast, Belfast, GBR) ,  O’CONNELL D (Queen’s Univ. Belfast, Belfast, GBR) ,  KIM T L (Univ. Illinois, Urbana, USA) ,  TCHERTCHIAN P A (Univ. Illinois, Urbana, USA) ,  WINTER J (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  SCHULZ-VON DER GATHEN V (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 43  号： 12  ページ： 124010,1-7  発行年： 2010年03月31日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 珪素ウエハ上にエッチングにより形成した微小プラズマ素子配列(50×50)からの発光の空間動力学を発光分光法を用いて調べた。各素子の底面は50μm角,深さは35μmで,0.8μmのSi₃N₄層を被覆した。配列をAr及びAr-Ne混合気体中,交流電圧で動作させた。発光は半周期毎に起き,発光位相は放電の自己脈動を示した。発光バーストは各放電空洞からの発光パルスの重なりにより形成され,バースト数は印加電圧と周波数に依存した。

シソーラス用語： 大気プラズマ ,  微細構造 ,  エッチング ,  配列 ,  交流電圧 ,  バースト ,  放射強度 ,  *発光分光法 ,  *プラズマ生成 ,  *気体放電
準シソーラス用語： ケイ素ウエハ ,  素子配列

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細構造 ,  大気圧プラズマ ,  励起 ,  動力学