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J-GLOBAL ID：201002294002550144   整理番号：10A1098892

TiドープITO透明導電膜を使用した近紫外-LEDの発光増強

Light Output Enhancement of Near UV-LED by Using Ti-Doped ITO Transparent Conducting Layer

著者 (3件)： LIN Yung Hsun (National Central Univ., Jhongli, TWN) ,  LIU Y.S. (National Central Univ., Jhongli, TWN) ,  LIU C.Y. (National Central Univ., Jhongli, TWN)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 22  号： 17/20  ページ： 1443-1445  発行年： 2010年09月01日 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LEDにおいては,透明導電膜(TCL)が重要な役割を果たしている。現在,LED用のTCLとしてはITOが広く使われている。ITO薄膜に金属をドーピングすることにより抵抗や透過率が改善されることが報告されている。本稿では,TiドープITO(Ti:ITO)薄膜の抵抗と透過率を測定し,紫外(UV)-LEDチップのTCLとしてTi:ITO薄膜を適用した。測定の結果,Tiドープにより,500°Cの真空アニール後,透過率が22%改善されたことが分かった。また,抵抗はITO薄膜トランジスタと同等(4.248×10^-4Ωcm)であった。Ti:ITO薄膜をTCLとして使用したUV-LEDの発光出力は52.1%向上した。

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  *酸化インジウムスズ ,  透明導電膜 ,  *ドーピング ,  チタン ,  透過率 ,  電気抵抗 ,  発光 ,  紫外線 ,  近紫外線
準シソーラス用語： ITO ,  LED ,  Ti ,  発光特性

分類 (1件)： 発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ti ,  ドープ ,  ITO ,  透明導電膜 ,  近紫外 ,  LED ,  増強