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J-GLOBAL ID：201002294106098359   整理番号：10A0552791

空気ー水界面における事前にプログラムされた基盤上でのmmスケールの薄い部品の流体自己整合

FLUIDIC SELF-ASSEMBLY OF MILLIMETER SCALE THIN PARTS ON PREPROGRAMMED SUBSTRATE AT AIR-WATER INTERFACE

著者 (4件)： PARK Kwang Soon (Univ. Washington, Seattle, USA) ,  XIONG Xugang (Univ. Washington, Seattle, USA) ,  BASKARAN Rajashree (Intel Corp., USA) ,  BOEHRINGER Karl F (Univ. Washington, Seattle, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 504-507  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気ー水界面からmmスケールの薄いシリコンチップの高い歩留まりアッセンブリを得るために,特異な表面ファラデー波を用いた新しい方法を提案した。ファラデー波は水容器の水に垂直横行の振動を加えることで生成する。このシステムは,直線電磁気垂直振動テーブル上の水容器とディップコーター,空気-水界面に浮かせた基盤,などからなる。基盤は水面と10°傾斜し一定速度で垂直に引き上げる。引き上げるときに部品が集まる仕組みである。歩留まりの良い製造方法を探索するために,水平,垂直方向の寸法,周波数や加速度をパラメータとしたスクリーニング試験を行い,最適な条件を設定した。表面ファラデー波を導入することで,えり抜きの組立が可能となった。

シソーラス用語： *気液界面 ,  *自己整合 ,  *半導体チップ ,  スケール ,  歩留り ,  Faradayセル ,  *振動 ,  電磁気 ,  傾斜
準シソーラス用語： *チップ【IC】 ,  *ファラデー波 ,  ミリメートルスケール ,  液気界面

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 水 ,  界面 ,  基盤 ,  スケール ,  流体 ,  自己整合