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J-GLOBAL ID：201002294112861439   整理番号：10A0532351

光学性能と測定性能を追求した測定顕微鏡=顕微鏡に測定という付加価値がついた測定顕微鏡ソリューション=

著者 (1件)： 虎谷泰輔 (ミツトヨ)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 21  号： 6  ページ： 59-62  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 測定顕微鏡は顕微鏡機能に測定機能が付加された顕微鏡であり,各業界において使用頻度が高くなっている。以下の3点のポイントで精度向上を図った。1)世界最高水準のスケール精度評価技術をもつ地下研究棟で開発された高精度ガラススケールを本体に内蔵,2)熱源となる電装(光源含む)を顕微鏡本体から分離,3)FEM解析や精密測定技術を顕微鏡本体の構造体に活用。反射照明および透過照明はLEDとハロゲンから選択でき,高倍率測定・暗視野観察環境を可能とする。暗視野・簡易偏光・微分干渉等の金属顕微観察にも対応出来る。画像測定オプションを搭載すれば,自動エッジ検出が可能となる。光学鏡筒を変更することによりレーザ微細加工後の寸法測定も可能である。

シソーラス用語： *顕微鏡 ,  *計測器 ,  偏光 ,  干渉顕微鏡 ,  倍率
準シソーラス用語： *測定顕微鏡 ,  FEM解析 ,  微分干渉顕微鏡

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光学性能 ,  測定顕微鏡 ,  顕微鏡 ,  付加価値 ,  ソリューション