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J-GLOBAL ID:201002294190211459   整理番号:10A0947164

スクイーズ膜減衰の存在における共振質量センサ設計に対する最適化方法

OPTIMIZATION STRATEGY FOR RESONANT MASS SENSOR DESIGN IN THE PRESENCE OF SQUEEZE FILM DAMPING
著者 (2件):
資料名:
巻: 2009  号: Vol.12 Pt.A  ページ: 247-256  発行年: 2010年 
JST資料番号: W2290A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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