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J-GLOBAL ID：201002294271456588   整理番号：10A0436290

ナノ磁性粒子とSU-8からなる複合材料を用いたマイクロ磁気駆動構造の作製

著者 (6件)： 細川祐揮 (香川大) ,  中野哲郎 (香川大) ,  寺尾京平 (香川大) ,  高尾英邦 (香川大) ,  大平文和 (香川大) ,  鈴木孝明 (香川大)
資料名： 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集
巻： 2010  ページ： 117-117  発行年： 2010年03月16日 
JST資料番号： L1518A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ磁性粒子と光硬化性樹脂からなる複合材料は,外部磁場によって操作可能であることや,露光法のみによって容易に加工可能であるなど,マイクロアクチュエータの材料として期待されている。本研究では,ナノ磁性粒子とSU-8からなる複合材料を用いて,フォトリソグラフィのみによってマイクロ磁気駆動素子を作製する方法について検討した。複合材料の加工性として,ナノ磁性粒子の重量比による分散度の変化,露光量による加工精度の変化について評価すると共に,マイクロ流路内での駆動実験を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  磁性体 ,  *複合材料 ,  露光 ,  フォトリソグラフィー ,  工作精度 ,  流れ構造 ,  駆動機構 ,  *アクチュエータ ,  磁場

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁性粒子 ,  SU-8 ,  複合材料 ,  磁気駆動 ,  作製