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J-GLOBAL ID:201002294284349217   整理番号:10A0238429

抵抗スイッチングに基づく高耐久性でフレキシブルなメモリ

Highly durable and flexible memory based on resistance switching
著者 (4件):
資料名:
巻: 54  号:ページ: 392-396  発行年: 2010年04月 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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積層Al/TiOx/Al構造からなる抵抗ランダムアクセスメモリ(RRAM)をフレキシブルで透明な基板上に実装した。セル対セルの均一性を改善するため,原子層堆積により形成したTiOxを抵抗スイッチング材料用に使用した。RRAMの単純なクロスバー構造とAl電極の良い延性が優れた適応性と機械的耐性を生んだ。特に,同時に現れるバイポーラとユニポーラスイッチング(BRS,URS)挙動を調査した。電流コンプライアンスに基づいてBRSまたはURSを選択的に観測できた。更に,BRSからURSへの永久遷移を特定の電流コンプライアンスで観測した。この遷移挙動を理解するため,抵抗スイッチングへのγ線照射効果を初めて調査した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
分類
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半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (2件):
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