文献

J-GLOBAL ID：201002294308814730   整理番号：10A0848974

荷電ビームを用いた固体表面の高分解能解析

著者 (2件)： 安江常夫 (大阪電通大 工) ,  越川孝範 (大阪電通大 工)
資料名： FERI Activity Report  (FERI Activity Report)
巻： 20  ページ： 45-49  発行年： 2010年03月31日 
JST資料番号： L6016A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ構造や超薄膜の表面,及び界面を高分解で解析する手法として二つの手法を紹介した。非破壊分析が可能なイオン散乱法があり,特に,中エネルギーイオン散乱法(MEIS)は高い深さ分解能を有し,原子位置決定制度が高い。走査電子顕微鏡を併用したMEIS法による,Si(100)上に成長させた酸化ジルコニウム薄膜の観察例を記述した。また,低エネルギー電子顕微鏡法(LEEM)による,Si(111)上にCuを蒸着して形成される′′5×5′′構造の観察例も挙げた。この場合も走査トンネル顕微鏡観察を併用した。

シソーラス用語： *高分解能電子顕微鏡 ,  *高分解能分光法 ,  *表面分析 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  非破壊測定 ,  *イオン散乱分光法 ,  深さ分析 ,  走査電子顕微鏡 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  酸化ジルコニウム ,  ケイ素 ,  銅 ,  構造解析 ,  島状構造 ,  熱処理 ,  結晶成長 ,  蒸着膜 ,  イオンビーム
準シソーラス用語： 界面分析 ,  固体表面 ,  中速イオン散乱 ,  *低エネルギー電子顕微鏡 ,  LEEM

分類 (2件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 荷電ビーム ,  固体表面 ,  高分解能 ,  解析