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J-GLOBAL ID：201002294351701346   整理番号：10A0731914

微少流体技術およびMEMS用の多層カーボンナノチューブポリジメチルシロキサンナノコンポジットポリマフレキシブル微小電極の製作

Fabrication of multiwalled carbon nanotube polydimethylsiloxne nanocomposite polymer flexible microelectrodes for microfluidics and MEMS

著者 (2件)： KHOSLA A. (Simon Fraser Univ., British Columbia, CAN) ,  GRAY B. L. (Simon Fraser Univ., British Columbia, CAN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7642  ページ： 76421V.1-76421V.9  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリジメチルシロキサン(PDMS)マトリックス中に,超音波撹拌によりCOOH修飾多層カーボンナノチューブ(MWCNT)を分散した,導電性ナノコンポジットポリマについて述べる。PDMSマトリックス中のCOOH修飾MWCNTが2重量%のとき,膜の比抵抗はおよそ62Ω-cmであった。微小鋳造された非導電PDMSと導電ナノコンポジットを組み合わせた,微小電極作製の新しいパターニングプロセスを実証した。作製した微小電極は,曲げ,しわまたはねじりに対し電気的接続を保持し,フレキシブルMEMS上の電気経路として使用可能である。

シソーラス用語： *微小電極 ,  ポリジメチルシロキサン ,  *多層カーボンナノチューブ ,  MEMS ,  流体

分類 (1件)： その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (7件)： 微少 ,  流体 ,  MEMS ,  多層カーボンナノチューブ ,  ポリジメチルシロキサン ,  微小電極 ,  製作