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J-GLOBAL ID:201002294431914200   整理番号:10A0428805

電極・膜隙間の機械的制御による膜レフレクタの大変位静電作動

Large-displacement Electrostatic Actuation of Membrane Reflectors through Mechanical Control of Electrode-membrane Gap
著者 (1件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 61-82  発行年: 2010年01月 
JST資料番号: W0165A  ISSN: 1045-389X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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不規則な支持構造振動,測定誤差がある場合の軌跡追跡の為の電極・膜隙間の機械的制御による膜レフレクタの閉ループ応答について検討した。電極・膜隙間制御・静電アクチュエータシステムのモデル化を行い,ついで,軌跡追跡の為の閉ループ制御について検討した。不規則な支持構造振動,測定誤差がある場合に対するフィードバック制御コントローラの設計法を導いた。さらに,膜リフレクタに対するシミュレーションを行い,提案法によるコントローラの有効性を示した。
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分類 (2件):
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その他の光学機器  ,  システム設計・解析 
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