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J-GLOBAL ID：201002294479189907   整理番号：10A0642535

ArFレジスト材料の評価《ArFエキシマランプ搭載露光装置によるレジスト材料評価》ランプを搭載した評価装置を開発 スキャナと同等の実験結果を得る

著者 (1件)： 関口淳 (リソテックジャパン)
資料名： Electronic Journal  (Electronic Journal)
号： 195  ページ： 72-73  発行年： 2010年06月15日 
JST資料番号： L5481A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザ用レジスト材料評価装置として,ArFエキシマランプを搭載した露光装置を紹介した。本装置により,レジスト材料の感度やディスクリミネーションカーブの評価を安価かつ簡単に行うことができる。本装置「ArFES-3500P」(リソテックジャパン(株)製)に使用した光源は,単色光の波長193nmの真空紫外光を放射するArFエキシマランプである。本装置を用いて露光実験を行い,スキャナと遜色のない実験結果が得られた。本装置ではパターン転写はできないが,露光量を変えながらオープンフレームを行うことで,レジスト材料の評価が簡単に行える。

シソーラス用語： 露光 ,  *リソグラフィー ,  *エキシマレーザ ,  アルゴン化合物 ,  フッ化物 ,  光源 ,  極端紫外線 ,  真空紫外線 ,  *フォトレジスト ,  性能評価 ,  試験装置 ,  感光材料
準シソーラス用語： 露光装置

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (11件)： ARF ,  レジスト材料 ,  評価 ,  エキシマランプ ,  露光装置 ,  ランプ ,  評価装置 ,  開発 ,  スキャナ ,  同等 ,  実験結果