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J-GLOBAL ID：201002294596288029   整理番号：10A0589909

類似製品のレシピの構造特徴ベース故障検出方式

Structural Feature-Based Fault-Detection Approach for the Recipes of Similar Products

著者 (4件)： KO Jong Myoung (Yonsei Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Chang Ouk (Yonsei Univ., Seoul, KOR) ,  LEE Seung Jun (Samsung Electronics Co. Ltd., Gyeonggi-do, KOR) ,  HONG Joo Pyo (Korea Univ. Technol. and Education, Chungnam, KOR)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 23  号： 2  ページ： 273-283  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最新の半導体プロセス装置は多くのセンサを設けてプロセス性能を監視している。プロセス制御が利かなくなると非線形でマルチモーダルであるために通常の統計的方法が使えないという問題がある。本稿では,センサ信号の構造特徴に基づく故障検出方法を提案した。センサ信号を多重亜区に分割して,センサ信号を形状コード,相対的高さと長さの亜区のシーケンスとした。この信号特徴を故障検出の判定基準とした。エッチプロセスのデータを用いた本手法の性能を評価した。この結果により,以下のことを示した。1)類似した製品のレシピに関する共有一変量モデルでは,共通の判定基準を用いて良好な故障検出を行った。2)単一プロセスのレシピの多変量モデルの故障検出は適してなかった。より多くのデータが必要であると考察した。

シソーラス用語： *故障検出 ,  *半導体プロセス ,  センサ ,  プロセス制御 ,  統計的方法 ,  判定基準 ,  多変量解析 ,  特徴抽出
準シソーラス用語： シークエンス ,  プロセス監視 ,  レシピ ,  *構造特徴 ,  非線形

分類 (1件)： パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 類似 ,  レシピ ,  構造特徴 ,  故障検出