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J-GLOBAL ID:201002294666825655   整理番号:10A0193381

AlN:Agナノ複合膜の構造,安定性及び機械的性能

Structure, stability and mechanical performance of AlN:Ag nanocomposite films
著者 (8件):
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巻: 204  号: 12-13  ページ: 1937-1941  発行年: 2010年03月15日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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保護膜に適している軟らかいAg包含物(AlN:Ag)を含む,硬いAlNマトリックスから成るナノ複合膜を報告した。その成長は,パルスレーザ蒸着法で行い,金属含有量や膜の構造特性(ナノ粒子のサイズ及び分布など)を,成長パラメータ(PLDの作用圧やレーザ出力など)と関連させて研究した。高分解能透過電子顕微鏡検査とナノインデンテーションを使用して,膜組成,包含物の結晶構造及び機械特性を決定した。使用したAgナノ粒子には,3~10nmの範囲の平均サイズがあり,マトリクッス材によって明確に切離されていた。ナノ粒子サイズと分布を決定する臨界パラメータと,AlN:Agナノ複合材膜の機械的な性能への後者の決定的役割を確立した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  セラミック・磁器の性質 
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