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J-GLOBAL ID：201002294763676494   整理番号：10A0867935

溶融Ni粒子によるダイヤモンドの異方的エッチング

Anisotropic etching of diamond by molten Ni particles

著者 (7件)： SMIRNOV W. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  HEES J. J. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  BRINK D. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  MUELLER-SEBERT W. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  KRIELE A. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  WILLIAMS O. A. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU) ,  NEBEL C. E. (Fraunhofer Inst. fuer Angewandte Festkoerperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, DEU)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 97  号： 7  ページ： 073117  発行年： 2010年08月16日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁性固体膜におけるナノ細孔は,DNA/RNAのような単線形高分子や生体環境におけるタンパク質の検出,特性化,操作といった分野で大変興味が持たれている。ダイヤモンド膜中に大きさ約15nm以下の,ピラミッド型ナノ細孔とナノチャネルといったナノ構造を低コストで速く,かつ効率よく,電子ビームリソグラフィを必要とせずに作成する方法を示した。触媒過程を用いる事により,900°Cの水素雰囲気中で自己組織化Niナノ粒子を用いてダイヤモンドの異方的エッチングを達成して,可能なエッチング機構を議論した。[111]の結晶学的方位を有するダイヤモンド面をこの方法によって最も遅くエッチングした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *細孔 ,  *ダイヤモンド ,  *エッチング ,  薄膜 ,  ニッケル ,  ナノ粒子 ,  異方性 ,  金属粉末 ,  自己組織化 ,  微細構造 ,  溶融金属 ,  水素
準シソーラス用語： ダイヤモンド膜 ,  *ナノ細孔 ,  金属ナノ粒子

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 溶融 ,  Ni ,  ダイヤモンド ,  異方的エッチング