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J-GLOBAL ID:201002295170823110   整理番号:10A0467223

自動的マイクロ組立品に対するマイクロファクトリのモジュール式アーキテクチャ

Modular architecture of the microfactories for automatic micro-assembly
著者 (4件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 354-360  発行年: 2010年08月 
JST資料番号: H0987A  ISSN: 0736-5845  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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最新のマイクロファブリケーションプロセスにおけるマイクロ組立ステップを含む新世代のMEMSの組立は大きな挑戦である。これらの新しい組立ステップを実施するためにマイクロマニファクチャリングシステムと呼ぶ新しい生産手段を開発しなければならない。機能解析とタスクシーケンスの定義から成る「トップダウン」と呼ぶ古典的な方法はマイクロマニファクチャリングシステムには不十分である。それどころか,微小世界(例えば,接着現象)の技術的制約や物理的制約を考慮して,信頼できるマイクロマニファクチャリングシステムを設計しなければならない。この論文ではマイクロマニファクチャリングシステムを設計する新しい方法を紹介した。この方法は,一般的な「トップダウン」法と技術的制約を考慮した「ボトムアップ」法を組み合わせた。この方法はマイクロマニファクチャリングシステムのためのモジュール式アークテクチャを構築することができる。このモジュール式アークテクチャを得るために,モジュールのオリジナル同定技術とモジュールの連想法を考案した。この研究は実験的ロボット・マイクロ組立ステーションの制御装置を設計するために用いた。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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