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J-GLOBAL ID：201002295644121847   整理番号：10A0993540

小型光学素子用のフェムト秒レーザ微細加工による誘電材料中のボイド配列の作製

Fabrication of a void array in dielectric materials by femtosecond laser micro-processing for compact photonic devices

著者 (4件)： TERAKAWA Mitsuhiro (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  TORATANI Eiji (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  SHIRAKAWA Tatsuya (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  OBARA Minoru (Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 100  号： 4  ページ： 1041-1047  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型の光回路を作製するために,五種類の誘電材料内部にフェムト秒レーザによりボイド構造を系統的に作製した。ボイドの形状を決定する物理定数を論じた。自己集光に対する臨界出力が低い材料では長いボイド配列が得られた。熱膨張係数は境界が明確で精密なボイドを作製するための主要因子であった。また,融解シリカ中に光導波路とフォトニック結晶からなるMach-Zehnder干渉計を設計し,ボイド配列の実用的応用を検証した。ボイド配列を用いたフォトニック結晶は小型の光回路を可能にすることをシミュレーションで示した。

シソーラス用語： レーザパルス ,  *レーザ加工 ,  マイクロマシニング ,  *誘電材料 ,  光回路 ,  光学素子 ,  熱膨張係数 ,  石英ガラス ,  光導波路 ,  フォトニックバンドギャップ ,  *Mach-Zehnder干渉計 ,  計算機シミュレーション ,  微細構造 ,  パルスレーザ ,  フォトニック結晶
準シソーラス用語： 融解シリカ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学素子 ,  フェムト秒レーザ ,  微細加工 ,  誘電材料 ,  ボイド ,  作製