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J-GLOBAL ID：201002295731607179   整理番号：10A1052598

品川ファインセラミックス株式会社「α-サイアロンセラミックスローラー」

Shinagawa Fine Ceramics Co., Ltd. “α-Sialon Ceramics Rollers”

著者 (3件)： 吉川正博 (品川ファインセラミックス) ,  一森照光 (品川ファインセラミックス) ,  牧谷敦 (品川ファインセラミックス)
資料名： 品川技報  (Shinagawa Technical Report)
号： 51  ページ： 89-94  発行年： 2008年03月20日 
JST資料番号： F0303A  ISSN： 0288-5395  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,発塵防止対策としてセラミックス機械部品の導入が増加してきた。特に,電子産業では高温,高真空等の過酷な環境下での製造プロセスを有し,発塵が製品歩留まりに影響するためセラミックス製ローラーが期待される。本稿では,「α-サイアロンセラミックスローラー」の特徴と応用について概説した。α-サイアロンはSi₃N₄のSiとNの一部をそれぞれAlとOに置換し,金属原子が格子間に侵入した固溶体である。硬度が高く,耐摩耗性,転がり疲れ挙動に優れている。外周にV溝を有し,内周部にベアリングを収納して軸を通す構造と直接軸を通す構造の2種類のローラー標準形状がある。応用例として,液晶・半導体分野でのクリーンルーム用ローラー,熱間圧延用ローラーを示した。

シソーラス用語： *ファインセラミック ,  *SIALON ,  ローラ ,  機械要素 ,  電子部品 ,  装置 ,  発生 ,  クリーンルーム ,  熱間圧延 ,  機械的性質 ,  微小硬さ ,  耐摩耗性 ,  疲れ強さ ,  疲れ ,  構造 ,  利用 ,  熱膨張係数 ,  熱伝導率 ,  耐熱衝撃性
準シソーラス用語： 機械部品 ,  製造装置 ,  半導体製造装置 ,  発塵 ,  転がり疲れ ,  応用

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (5件)：

• K. Ishizawa, N. Ayuzawa, A. Shiranita, M. Takai, N. Uchida, M. Mitomo; J. Ceram. Soc., Japan 94, 183-185(1986)
• Shinagawa Fine Ceramics Co., Ltd.; Products Catalog (2007)
• K. Nagamori; Shinagawa Technical Report 35, 111-128(1992)
• A. Yoshida, M. Fujii, Q. Zhang, K. Nagamori, H. Haishi; Traibologist 37(1) 54-60(1990)
• Shinagawa Fine Ceramics Co., Ltd.; Roller Products Catalog (2007)