文献

J-GLOBAL ID：201002296890251527   整理番号：10A0186977

金とシリコンのMEMS有孔板における空気制動のモデリングと検証

Modelling and validation of air damping in perforated gold and silicon MEMS plates

著者 (3件)： DE PASQUALE Giorgio (Politecnico di Torino, Torino, ITA) ,  VEIJOLA Timo (Helsinki Univ. Technol., FIN) ,  SOMA Aurelio (Politecnico di Torino, Torino, ITA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 1  ページ： 015010,1-12  発行年： 2010年01月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スクイーズ膜減衰効果によるMEMSアプリケーション用振動有孔板の動的挙動を研究した。2種類の幾何学的トポロジタイプの金とシリコンの有孔板を製作し,静電気的に励振して振動振幅を光学的に測定した。比較のためマルチフィジックスFEMシミュレーションを実行して,構造的三次元応力-歪みと二次元気体膜解析を結合した。さらに,気体減衰用のQ値推定にコンパクトモデルを使用した。シミュレーションから,付加圧力フレームモデルで訂正すればコンパクトモデルは十分な精度を持っていること,支持バネの流れの寄与が小径孔板に対して必須であることが明らかになった。また,空気中のMEMS振動板に作用する散逸(減衰その他)の影響を調査し,構造内での熱弾性減衰は非常に小さいことをシミュレーションで示した。この結果,シリコンと金構造の両方に同じモデリング手法が使用できることが判明した。

シソーラス用語： *MEMS ,  *有孔板 ,  制動 ,  効果 ,  物理学 ,  有限要素法 ,  応力歪曲線 ,  散逸 ,  熱弾性 ,  応力解析 ,  Q値 ,  *空気圧制御 ,  膜
準シソーラス用語： マルチフィジックス ,  振動減衰効果

分類 (2件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 金 ,  シリコン ,  MEMS ,  有孔板 ,  モデリング ,  検証