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J-GLOBAL ID：201002297084655193   整理番号：10A0856953

回折マイクロミラーアレイの多重スペクトル特性評価

Multispectral characterization of diffractive micromirror arrays

著者 (15件)： BERNDT Dirk (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  HEBER Joerg (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  SINNING Steffen (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  KUNZE Detlef (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  KNOBBE Jens (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  SCHMIDT Jan-Uwe (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  BRING Martin (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  RUDLOFF Dirk (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  FRIEDRICHS Martin (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  ROESSLER Jana (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  ECKERT Mark (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  KLUGE Wolfram (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  NEUMANN Hannes (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  WAGNER Michael (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU) ,  LAKNER Hubert (Fraunhofer Inst. Photonic Microsystems IPMS, Dresden, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7718  ページ： 77180Q.1-77180Q.11  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 回折マイクロミラーアレイ(MMA)の多重スペクトル性能を試験する反射光学装置を提案した。発散制御を用いた完全にアクロマチックなビーム均質化と回折限界MMAイメージングにより,MMA試験に多数のレーザ光源を組み合わせることができる。回折MMA動作モードの低い開口数により,標準の球面鏡を用いて,深紫外から近赤外までの広い波長範囲でマイクロミラーの単一の分解能を実現可能である。パルスレーザ光源と専用の制御電子装置を用いて,時間分解パターン解析を実現した。コントラスト試験では,300以上の粗いオン/オフコントラストを実証した。

シソーラス用語： スペクトル ,  *反射鏡 ,  MEMS ,  光回折 ,  コントラスト ,  紫外線 ,  近赤外線
準シソーラス用語： MEMSミラー ,  *マイクロミラーアレイ ,  近赤外 ,  深紫外 ,  多重スペクトル

分類 (2件)： その他の光学機器  (QF05060C) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 回折 ,  マイクロミラーアレイ ,  多重スペクトル ,  特性評価