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J-GLOBAL ID：201002297184606920   整理番号：10A1609168

タングステンを含む非晶質炭素膜の作製とひずみセンサとしての機能性の検討

著者 (4件)： 大野威 (東北大 大学院) ,  竹野貴法 (東北大 融合研) ,  三木寛之 (東北大 流体科研) ,  高木敏行 (東北大 流体科研)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2010  号： Vol.1  ページ： 321-322  発行年： 2010年09月04日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではタングステンを含非晶質炭素膜(W-DLC)膜の歪みセンサへの応用を目指し,W-DLC膜の歪み印加時における電気伝導を検討した。微細組織をモデル化し,金属の大きさと含有量を変数として式を導いたところ理論式と実験結果はよく一致し,金属含有量の増大に伴いゲージ率(GF)及び抵抗温度係数(TCR)は小さくなるという結果を得た。さらに,含有金属を大きくすることでGFは大きく,TCRは小さくなることが分かった。以上より,高GF,低TCRの為には金属クラスタサイズを小さくする必要があると考えられる。(著者抄録)

シソーラス用語： *計測器 ,  *歪計 ,  *DLC膜 ,  *ナノ複合材料 ,  *機能分析 ,  タングステン ,  炭素材 ,  炭素 ,  濃度依存性 ,  微細構造 ,  温度係数 ,  導電性 ,  歪率 ,  解析モデル ,  数値解析 ,  ステンレス鋼 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： 検証実験 ,  炭素膜 ,  非晶質炭素 ,  *歪センサ

分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  塑性力学一般  (HC03010T) ,  材料試験  (HB02020U)

タイトルに関連する用語 (5件)： タングステン ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  作製 ,  ひずみセンサ