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J-GLOBAL ID：201002297512510600   整理番号：10A1032109

真空中での高反射膜のレーザ誘起損傷に対する二つの有機汚染モードの影響

Effect of two organic contamination modes on laser-induced damage of high reflective films in vacuum

著者 (4件)： LING Xiulan ,  ZHAO Yuanan ,  SHAO Jianda ,  FAN Zhengxiu
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 519  号： 1  ページ： 296-300  発行年： 2010年10月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1064nmにおける高反射膜(HR)の損傷特性に対するトルエンの二つの有機汚染モードの影響を調べた。HR膜のレーザ誘起損傷の変化をRaman法,光学顕微鏡及び走査電子顕微鏡(SEM)により局所的に分析した。液相トルエンはレーザ誘起損傷の閾値(LIDT)を低減し,気相トルエンは温和で,HR膜のLIDTを増加させることが分かった。可能性のある損傷メカニズムを分析し,議論した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *反射率 ,  *真空 ,  *レーザ損傷 ,  被覆 ,  *光学材料 ,  汚染物質 ,  気体 ,  液体 ,  Ramanスペクトル ,  光学顕微鏡法 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： 光学コーティング

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空 ,  レーザ誘起損傷 ,  汚染