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J-GLOBAL ID：201002297895045859   整理番号：10A0552807

神経機能代替応用に対して利用されるスパタリングされたイリジウム酸化物の劣化に影響する因子

FACTORS AFFECTING DEGRADATION OF SPUTTERED IRIDIUM OXIDE USED FOR NEUROPROSTHETIC APPLICATIONS

著者 (5件)： NEGI Sandeep (Blackrock Microsystems, Utah, USA) ,  NEGI Sandeep (Univ. Utah, Utah, USA) ,  BHANDARI Rajmohan (Blackrock Microsystems, Utah, USA) ,  VAN WAGENEN Rick (Blackrock Microsystems, Utah, USA) ,  SOLZBACHER Florian (Univ. Utah, Utah, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 568-571  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電極は,神経信号の記録や神経や筋肉の刺激に用いられるため,生体に適合し電気的にも機械的にも安定で,その特性が変化してはならない。本研究では,スパタリングしたイリジウム酸化物フィルムを,3次元神経プローブ(Utah電極アレイを構成)の先端に,アークを出さないために,パルスDC反応スパッタリングで堆積させた。Utah電極アレイの製作方法を詳細に述べた。アレイの先端をチタンの堆積のあと,イリジウム酸化物フィルム(SIROF)の堆積を行った。TiとSIROFの厚さを表面形状測定装置で測定したところ,250nmであった。SIROFは樹枝状結晶パターンを呈しており,実際の表面積は大きくなっており,これはインピーダンスを低減しフィルムの充電容量を増大させるため,神経機能代替応用には望ましいことである。インピーダンス分光データの測定や電気化学的変化の測定を行い,フィルムの評価を行った。

シソーラス用語： *機能 ,  *利用 ,  *酸化イリジウム ,  劣化 ,  電極 ,  *スパッタ蒸着 ,  生物 ,  パルス ,  アレイ ,  厚み ,  インピーダンス ,  充電 ,  樹枝状結晶
準シソーラス用語： イリジウム酸化物 ,  スパッター堆積 ,  厚さ ,  *神経機能 ,  生体 ,  *代替

分類 (2件)： 生体計測  (EL03020C) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 神経機能 ,  代替 ,  応用 ,  スパタリング ,  イリジウム酸化物 ,  因子