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J-GLOBAL ID：201002298114091539   整理番号：10A0819387

集光ホログラフィー的リソグラフィーおよび界面活性剤テンプレート法による階層秩序化構造体

Hierarchically Ordered Structures by Converging Holographic Lithography and Surfactant Templating

著者 (4件)： LEE Seung-Kon (KAIST, Daejeon, KOR) ,  PARK Hyosung (KAIST, Daejeon, KOR) ,  YI Gi-Ra (Chungbuk National Univ., Cheongju, KOR) ,  YANG Seung-Man (KAIST, Daejeon, KOR)
資料名： Chemistry of Materials  (Chemistry of Materials)
巻： 22  号： 14  ページ： 4117-4119  発行年： 2010年07月27日 
JST資料番号： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロプリズムアレイを用いるマイクロホログラフィー的リソグラフィー(μHL)によってSU-8樹脂製テンプレートを作製し,テトラエチルオルトシリケート(TEOS)とPluronic F127との混合水溶液を含浸させ,焼成してテンプレートを除去することにより,階層秩序化構造を有する多孔質シリカを得ることができた。テンプレートのプラズマ処理によって含浸が容易になることを示した。本研究の多孔質シリカはSU-8構造体由来のマクロ細孔とPluronic F127由来のメソ細孔とを有することを顕微鏡法観察によって明らかにした。

シソーラス用語： ホログラフィー ,  リソグラフィー ,  フォトレジスト ,  高分子界面活性剤 ,  非イオン界面活性剤 ,  鋳型効果 ,  *多孔質体 ,  *階層構造 ,  脂肪族アルコール ,  無機酸エステル ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  SU-8 ,  Pluronic F127

分類 (2件)： コロイド化学一般  (CB11010C) ,  固-液界面  (CB12050B)

物質索引 (1件)： TEOS

タイトルに関連する用語 (8件)： 集光 ,  ホログラフィー ,  リソグラフィー ,  界面活性剤 ,  テンプレート ,  階層 ,  秩序化 ,  構造体