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J-GLOBAL ID：201002298212715613   整理番号：10A0322806

質量流量計とその応用 フロー・レシオコントローラ

著者 (2件)： DING Junhua (MKS Inst, inc.) ,  鈴木勲 (日本エム・ケー・エス)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 38  号： 5  ページ： 15-17  発行年： 2010年04月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MKS Inst inc.で開発・製品化されたフローレシオ・コントローラ(FRC)DELTA IIを紹介した。1つのガスソースを複数に分岐することが先端技術分野で求められている。安定して分流する分流器としては以前より機械式のものがあるが(圧損が大きいことや,2次圧変動の影響を受け易いなどの理由で)半導体製造プロセスにはあまり使用されていない。 DELTA IIは,最新の制御技術によりこれらの問題を解決し,新たなアプリケーションヘの対応を可能としている。DELTAIIの構成,Ethernetによるユーザインターフェイス内蔵などの紹介を含む。

シソーラス用語： 流量計 ,  流量 ,  流量測定 ,  *流量制御 ,  分流器 ,  ガス供給系 ,  半導体プロセス ,  *調節器 ,  *質量流量
準シソーラス用語： ガス流量 ,  メンテナンスフリー ,  *質量流量計 ,  半導体製造プロセス ,  半導体製造装置

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (2件)： 質量流量計 ,  応用