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J-GLOBAL ID：201002298394723098   整理番号：10A0722166

エアロゾルの一段直接蒸着によるハイポーラス膜の合成法

Highly Porous Film Synthesis by Single-Step Direct Aerosol Deposition

著者 (4件)： PHAM David K. (Foundation Inst. of Materials Sci. (IWT), Dep. of Production Engineering, Univ. of Bremen) ,  HORNIG Nils (Foundation Inst. of Materials Sci. (IWT), Dep. of Production Engineering, Univ. of Bremen) ,  FRITSCHING Udo (Foundation Inst. of Materials Sci. (IWT), Dep. of Production Engineering, Univ. of Bremen) ,  MAEDLER Lutz (Foundation Inst. of Materials Sci. (IWT), Dep. of Production Engineering, Univ. of Bremen)
資料名： エアロゾル研究  (Journal of Aerosol Research)
巻： 25  号： 2  ページ： 140-148 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： L0641A  ISSN： 0912-2834  CODEN： EAKEEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来の液相成長法で膜を合成や加工すると後成長工程で熱処理が必要な為,合成した膜は空隙率が限定的な場合が多い。其のため多孔質膜のナノ構造が崩壊し,開放空孔の形状に悪影響を及ぼす。新規合成法としてエアロゾルの一段気相蒸着法を紹介し,膜の推定間隙率は最高98%と数値シミュレーションで推算した。この手法でハイポーラス膜を合成する為の重要因子は,高い比表面積を保証するナノ粒子凝集体を成功裡に形成する条件である。粒子を粗に充填するため熱伝達式蒸着法で粒子を蒸着し,基板を冷却して膜の焼結を防止する。ハイポーラス膜はガスセンサなど新規用途に有用な為,多孔質膜の特性評価,空隙構造内のガス拡散や輸送過程の解析が進行する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *蒸着膜 ,  *熱CVD ,  *物理蒸着 ,  *エアロゾル ,  気相成長 ,  レーザアブレーション ,  ナノ構造 ,  凝集体 ,  酸化スズ ,  酸化亜鉛 ,  酸化チタン ,  スパッタ蒸着 ,  空隙率 ,  セラミック膜 ,  薄膜成長 ,  基板温度
準シソーラス用語： 多孔質膜

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

引用文献 (62件)：

• 1) Mädler, L., Roessler, A., Pratsinis, S. E., Sahm, T., Gurlo, A., Barsan, N. and Weimar, U.: Sensors and Actuators B-Chemical, 114, 283-295 (2006)
• 2) Sahm, T., Rong, W. H., Barsan, N., Mädler, L., Friedlander, S. K. and Weimar, U.: Journal of Materials Research, 22, 850-857 (2007)
• 3) Tricoli, A., Graf, M., Mayer, F., Kühne, S., Hierlemann, A. and Pratsinis, S. E.: Advanced Materials, 20, 3005-3010 (2008)
• 4) Chew, S. Y., Patey, T. J., Waser, O., Ng, S. H., Buchel, R., Tricoli, A., Krumeich, F., Wang, J., Liu, H. K., Pratsinis, S. E. and Novak, P.: Journal of Power Sources, 189, 449-453 (2009)
• 5) Liu, Y., Rauch, W., Zha, S. W. and Liu, M. L.: Solid State Ionics, 166, 261-268 (2004)

タイトルに関連する用語 (4件)： エアロゾル ,  蒸着 ,  ポーラス膜 ,  合成法