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J-GLOBAL ID：201002298990739236   整理番号：10A0499619

自己組織化球の使用によるアルミニウム表面上でのナノ/マイクロ構造およびピット誘導サイトの制御

Control of nano/microstructure and pit initiation sites on aluminium surface by use of self-assembled spheres

著者 (3件)： ONO Sachiko (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  UCHIBORI Kota (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN) ,  ASOH Hidetaka (Kogakuin Univ., Tokyo, JPN)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 42  号： 4  ページ： 264-268  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アルミニウム表面上でのピット分散性および均一性のさらなる改善を可能とするためのピット誘導サイトの新規制御方法を紹介した。ハニカム陽極アルミナマスクを形成するための間接マスクとして自己組織化球の配列を用いたアルミニウムの電気化学的エッチングによって,ピット誘導サイトの位置および数を制御した。この提案した方法は,電気化学的エッチングによるアルミニウム基体へのマイクロメータサイズのコロイド球の規則的配列のパターン転写に基づいた。従来の方法と比較して,球の直径を変えることによって,このプロセスでアルミニウム表面の過剰溶解を避けながらピット分布密度およびピットサイズの均一性の改善が容易に得られた。

シソーラス用語： *アルミニウム ,  *電解エッチング ,  酸化膜 ,  アノード酸化 ,  ミクロスフェア ,  ナノ粒子 ,  自己組織化 ,  アルミナ ,  コロイド ,  パターン転写 ,  表面融解 ,  陽極酸化処理 ,  多孔性 ,  細孔構造 ,  分散度 ,  *マスキング ,  ハニカム構造 ,  電子顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡

分類 (3件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 自己組織化 ,  アルミニウム ,  マイクロ構造 ,  ピット ,  誘導