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J-GLOBAL ID:201002299054396293   整理番号:10A0461308

シリコンを基礎とする熱光学的に調整できるフォトニック結晶のレンズ

Silicon-Based Thermo-Optically Tunable Photonic Crystal Lens
著者 (7件):
資料名:
巻: 22  号: 1/4  ページ: 21-23  発行年: 2010年01月01日 
JST資料番号: T0721A  ISSN: 1041-1135  CODEN: IPTLEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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電話で使われる波長1.55μm近傍の波長で動作する2次元のシリコンを基礎とする非常に小型(30μmx7μm)の熱光学的に調整できるフォトニック結晶のレンズを設計し,作成し,評価した。レンズは,厚さ340nmの高屈折率のシリコンのハチの巣様の格子行列パターンが,厚さ2μmの低屈折率のシリコン酸化物の中に埋め込まれる構造であり,さらにその上に厚さ150nmのNiCrの小型ヒーターを置いた。小型ヒーターに流す電流によって局所的熱を変え,熱光学効果によってシリコンの反射係数の変化を引き起こし,フォトニック結晶レンズの焦点距離を変える。
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分類 (1件):
分類
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光学器械要素とその材料 
タイトルに関連する用語 (5件):
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