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J-GLOBAL ID：201002299313618100   整理番号：10A0214073

種々のクラスタ一次イオンによって発生したクラスタ二次イオンの質量強度における相関性

Relationships Between Cluster Secondary Ion Mass Intensities Generated by Different Cluster Primary Ions

著者 (3件)： SEAH Martin P. (Quality of Life Div., National Physical Lab., Teddington, Middlesex, GBR) ,  GREEN Felicia M. (Quality of Life Div., National Physical Lab., Teddington, Middlesex, GBR) ,  GILMORE Ian S. (Quality of Life Div., National Physical Lab., Teddington, Middlesex, GBR)
資料名： Journal of the American Society for Mass Spectrometry  (Journal of the American Society for Mass Spectrometry)
巻： 21  号： 3  ページ： 370-377  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： W0174A  ISSN： 1044-0305  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単原子及びクラスタ一次イオンに対する二次イオン質量スペクトルの組成を評価する測定について論述した。異なる一次イオンのスペクトルは3種類の物質に依存した成分スペクトルの積として正確に記述できることを従来の研究が示し,そのなかの2種類はクラスタサイズの増加に従ってべき乗で増大した。その研究は有機物質であり,本報では25keVのBi_n⁺クラスタ一次イオンによってスパッタリングした酸化ケイ素の(SiO₂)_tOH^-クラスタ(n=1,3及び5,及び1<t<15)に拡張した。これらの結果はスペクトル,H_SiOH^*の定数及びtにおけるべき乗則スペクトルの積によって6桁の強度にわたり2.4%の標準偏差で記述できた。この評価は9及び18keVのAu^-及びAu₃^-によるSiからスパッタリングされたSi_t⁺の報告されたデータを用いて拡張され,スペクトルは適切なべき乗のスペクトルH_Si^*及びtに対して指数的に依存する簡便なスペクトルと定数の積によって厳密に記述できることを確証した。このことは6,9,12及び18keVのAl^-及びAl₂^-一次クラスタイオンに対する公表されたデータによって確認した。全ての場合に,強度の主要な効果は表面における一次イオンの析出エネルギーと相関付けられた。単原子及びクラスタ一次イオン源に対するSIMSスペクトルの組成は全ての場合について定められたべき乗の二成分スペクトルと定数の積に一致することを示した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *クラスタイオン ,  *二次イオン ,  *二次イオン質量分析 ,  スパッタリング ,  酸化ケイ素 ,  ビスマス ,  金 ,  ケイ素 ,  アルミニウム ,  べき

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (4件)： クラスタ ,  イオン ,  質量 ,  相関性