ダイシング・ダイボンドフィルム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-178028
公開番号（公開出願番号）：特開2010-062541
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】ワークが薄型の場合にも、ダイシングする際の保持力と、ダイボンドフィルムと一体に剥離する剥離性とのバランス特性に優れるダイシング・ダイボンドフィルムを提供する。【解決手段】基材1上に粘着剤層2を有するダイシングフィルムと、粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルム3とを有するフィルム10であって、粘着剤層はアクリル酸エステルAとアクリル酸エステルBとヒドロキシル基含有モノマーとイソシアネート化合物とで構成される。アクリル酸エステルAとアクリル酸エステルBとの配合割合はA60〜90mol%に対しB40〜10mol%で、ヒドロキシル基含有モノマーの割合はA及びBの合計100mol%に対し10〜30mol%の範囲内で、イソシアネート化合物の割合はヒドロキシル基含有モノマー100mol%に対し70〜90mol%の範囲内であり、ダイボンドフィルムはエポキシ樹脂により形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、前記粘着剤層は、CH2=CHCOOR1(式中、R1は炭素数が6〜10のアルキル基である。)で表されるアクリル酸エステルAと、CH2=CHCOOR2(式中、R2は炭素数が11以上のアルキル基である。)で表されるアクリル酸エステルBと、ヒドロキシル基含有モノマーと、分子内にラジカル反応性炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物とで構成されるアクリル系ポリマーにより形成され、前記アクリル酸エステルAと前記アクリル酸エステルBとの配合割合は、アクリル酸エステルA60〜90mol%に対し、アクリル酸エステルB40〜10mol%であり、前記ヒドロキシル基含有モノマーの配合割合は、前記アクリル酸エステルA及びアクリル酸エステルBの合計100mol%に対し10〜30mol%の範囲内であり、前記イソシアネート化合物の配合割合は、前記ヒドロキシル基含有モノマー100mol%に対し70〜90mol%の範囲内であり、前記ダイボンドフィルムはエポキシ樹脂により形成されることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。

IPC (4件)：

H01L 21/301 , H01L 21/52 , C09J 133/08 , C09J 7/02

FI (4件)：

H01L21/78 M , H01L21/52 E , C09J133/08 , C09J7/02 Z

Fターム (19件)：

4J004AA10 , 4J004AA17 , 4J004AB01 , 4J004CA06 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004FA04 , 4J040DF041 , 4J040GA05 , 4J040GA20 , 4J040JA09 , 4J040JB09 , 4J040LA01 , 4J040LA06 , 4J040NA20 , 5F047BA21 , 5F047BA34 , 5F047BB03 , 5F047BB19

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