特許
J-GLOBAL ID:201003000982929764
マイクロポンプユニット
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
森下 武一
, 谷 和紘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-050643
公開番号(公開出願番号):特開2010-203349
出願日: 2009年03月04日
公開日(公表日): 2010年09月16日
要約:
【課題】高圧力での送液及び高流量での送液を可能とするマイクロポンプユニットを得る。【解決手段】順方向及び逆方向に送液可能な複数のマイクロポンプ10a,10b,10cを積み重ねたマイクロポンプユニット。積み重ねたマイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替える。並列流量モードでは、各段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されるとともに、各段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。直列圧力モードでは、奇数段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されかつ偶数段のマイクロポンプが奇数段のマイクロポンプとは逆の方向で送液駆動されるとともに、最上段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。【選択図】図3
請求項(抜粋):
順方向及び逆方向に送液が可能な複数のマイクロポンプを積み重ねたマイクロポンプユニットにおいて、
積み重ねた前記マイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、
前記マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替えること、
を特徴とするマイクロポンプユニット。
IPC (2件):
FI (5件):
F04B43/02 D
, F04B43/02 F
, F04B43/02 N
, F04B43/02 L
, F04B43/04 B
Fターム (14件):
3H077AA08
, 3H077BB03
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077CC13
, 3H077CC14
, 3H077DD06
, 3H077EE02
, 3H077EE03
, 3H077EE05
, 3H077EE16
, 3H077FF12
, 3H077FF14
, 3H077FF36
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