特許
J-GLOBAL ID：201003001029710794
原子間力顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007064732
公開番号（公開出願番号）：WO2008-029562
出願日： 2007年07月27日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
原子間力顕微鏡(AFM)におけるカンチレバーの共振周波数シフトの検出を高速化し、感度を向上する。AFM(1)は、カンチレバーの変位センサの検出信号から、基準信号と位相シフト信号を抽出する。基準信号は、共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された信号であり、位相シフト信号は、共振周波数シフトに応じて位相がシフトする信号である。AFM(1)は、基準信号に対する位相シフト信号の位相差を、共振周波数シフトとして求める。AFM(1)は、基準信号の正負反転ポイントと位相シフト信号の正負反転ポイントの位相差を検出してよい。AFM(1)は、位相検出前に位相調整を行ってよく、位相調整は、振動波形上に定められた共振周波数シフトの検出ポイントを正負反転ポイントへ移動する。検出ポイントは、振動波形上でカンチレバーと試料が最も近づく位置に設定される。
請求項（抜粋）：
カンチレバーを共振周波数で自励発振させ、前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトに基づいて試料の情報を得る原子間力顕微鏡であって、
前記カンチレバーの変位を検出する変位センサと、
前記変位センサの検出信号に基づいて前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトを検出する共振周波数シフト検出部と、
を備え、
前記共振周波数シフト検出部は、
前記変位センサの検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された基準信号を抽出する基準信号抽出部と、
前記変位センサの検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じて位相がシフトする位相シフト信号を抽出する位相シフト信号抽出部と、
前記基準信号抽出部と前記位相シフト信号抽出部により抽出された前記基準信号と前記位相シフト信号に基づいて、前記基準信号に対する前記位相シフト信号の位相差を求めることにより、共振周波数シフトを求める位相検出部と、
を有することを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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