特許
J-GLOBAL ID：201003001941144376
蒸着マスクの洗浄装置および洗浄方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-278289
公開番号（公開出願番号）：特開2010-106304
出願日： 2008年10月29日
公開日（公表日）： 2010年05月13日
要約：
【課題】有機EL素子の蒸着マスクを低ダメージで効率よく洗浄し、蒸着剤を効率よく回収することで、蒸着マスクの利用回数を上げ、蒸着剤の再利用効率を上げることができる装置を実現する。【解決手段】蒸着マスク2にパルスレーザ10を照射して、蒸着剤を蒸着マスク2から分離する。吸引ノズル3から蒸着剤を吸引し、サイクロン6で空気と蒸着剤を分離し、サイクロン6の底部に蒸着剤を堆積させる。その後、バルブ12を開き、蒸着剤を蒸着剤回収部7に回収する。その後、バルブ13を開け、蒸着剤精製部8に蒸着剤を移動させて蒸着剤を精製する。バルブ14を開け、精製された蒸着剤を蒸着剤保管部9に保管する。これにより、蒸着マスク2をダメージなく洗浄出来るとともに、蒸着剤を高い効率で回収することが出来る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
蒸着剤が付着した蒸着マスクにパルスレーザを照射して、蒸着剤を蒸着マスクから分離する手段と、前記蒸着マスクから分離された蒸着剤を吸引する手段と、前記蒸着剤を空気と分離する分離手段と、前記分離手段によって分離した蒸着剤を回収する手段と、回収された蒸着剤を精製する手段と、回収された蒸着剤を保管する手段を有することを特徴とする蒸着マスク洗浄装置。
IPC (4件)：
C23C 14/00
, H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/24
C23C14/00 B
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/24 G
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107GG31
, 3K107GG33
, 3K107GG51
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029FA09
, 4K029HA01
