感光性樹脂組成物、感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及びそれを用いた永久レジスト。

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-003748
公開番号（公開出願番号）：特開2010-160419
出願日： 2009年01月09日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：

【課題】繰り返しの温度サイクル試験後の耐クラック性に優れるプリント配線板用の感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性フィルム、永久レジストを提供する。【解決手段】マレイミド又はマレイミド誘導体に由来する繰り返し単位を有するアクリル共重合体(a)、エポキシ樹脂とビニル基含有モノカルボン酸とを反応させて得られる樹脂に、飽和又は不飽和基含有多塩基酸無水物を反応させて得られる樹脂(b)、光重合性モノマー(c)、光重合開始剤(d)、熱硬化剤(e)を含有し、1J/cm2で紫外線照射、及び160°Cで硬化した時に、下記式(1)で表される定数Aが65以上、及び定数Bが0.06以下となる硬化膜が得られる感光性樹脂組成物。(式(1)中、σは25°Cで感光性樹脂硬化物に与える応力振幅値、Nは感光性樹脂硬化物が破断するまでの応力振幅の繰り返し回数を示す。)【選択図】図1

請求項（抜粋）：

分子中にマレイミド又はマレイミド誘導体に由来する繰り返し単位を有するアクリル共重合体(a)、エポキシ樹脂と、ビニル基含有モノカルボン酸と、を反応させて得られる樹脂に、飽和若しくは不飽和基含有多塩基酸無水物を反応させて得られる樹脂(b)、エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー(c)、光重合開始剤(d)、熱硬化剤(e)を含有する感光性樹脂組成物であって、前記感光性樹脂組成物を1J/cm2で紫外線照射、及び160°Cで硬化した時に、下記式(1)で表されるところの定数Aが65以上、及び定数Bが0.06以下となる硬化膜が得られることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/033 , G03F 7/004 , G03F 7/027 , H05K 3/28

FI (5件)：

G03F7/033 , G03F7/004 501 , G03F7/027 515 , G03F7/004 512 , H05K3/28 D

Fターム (29件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC43 , 2H025BC53 , 2H025BC74 , 2H025CA02 , 2H025CA09 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CC08 , 2H025CC12 , 2H025CC17 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 5E314AA27 , 5E314AA32 , 5E314AA33 , 5E314BB02 , 5E314CC06 , 5E314CC15 , 5E314FF01 , 5E314GG09 , 5E314GG26

引用特許：

審査官引用 (1件)

簀の子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-215479 出願人：有限会社大阪マツウラ

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