特許
J-GLOBAL ID：201003003532478630
2枚のウェハを有するアクティブ画素センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠彦
, 大貫 進介
, 伊東 忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-531476
公開番号（公開出願番号）：特表2010-506404
出願日： 2007年10月05日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：
縦型一体化アクティブ画素センサは、サポート回路ウェハに結合されたセンサウェハを含む。ウェハ間コネクタ又はコネクタ配線が、センサウェハとサポート回路ウェハとの間で信号を転送する。アクティブ画素センサは、除去可能な界面層を用いてセンサウェハをハンドリングウェハに取り付けることによって製造されることが可能である。センサウェハがハンドリングウェハに取り付けられると、センサウェハは所与の厚さまで裏面から薄層化される。その後、センサウェハにサポート回路ウェハが取り付けられ、センサウェハからハンドリングウェハが分離される。
請求項（抜粋）：
(a)センサウェハであり:
第1の画素領域アレイであり、各画素領域が:
入射光に応答して電荷を収集する光検出器;
前記光検出器から電荷を転送する転送ゲート;及び
前記光検出器から前記転送ゲートを介して前記電荷を受け取る電荷-電圧変換機構;
を含む、第1の画素領域アレイ、
を有するセンサウェハ、
(b)前記センサウェハに接続されたサポート回路ウェハであり:
前記第1のアレイ内の各画素領域に対するサポート回路を有する第2の画素領域アレイであり、当該第2のアレイ内の各画素領域が、前記第1のアレイ内の1つ以上の画素領域に結合された、第2の画素領域アレイ;
を含むサポート回路ウェハ、並びに
(c)前記センサウェハ上の各電荷-電圧変換機構と前記サポート回路ウェハ上のそれぞれの画素領域内の電気ノードとの間のウェハ間コネクタであり、前記電荷-電圧変換機構から前記サポート回路ウェハに電荷を転送するウェハ間コネクタ、
を有するアクティブ画素センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L27/14 E
, H01L27/14 A
, H01L27/14 D
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118BA19
, 4M118CA02
, 4M118DD04
, 4M118FA06
, 4M118GA02
, 4M118GC08
, 4M118GD04
, 4M118HA31
, 4M118HA33
